• 15:30-16:00
  • Laser technology

Slotlezing: Fotonica als aanjager van innovatie voor ASML lithografie en metrologie

  • Hein Otto Folkerts
  • ASML

In dit verhaal krijgt u een overzicht van laser- en fotonicatoepassingen in de ASML producten. Aan de hand van een paar voorbeelden wordt ingegaan op recente innovaties en hoe die helpen bij het verbeteren van de performance van de ASML machines bij klanten.